Инновационный Вестник "Современные Нанотехнологии"

Предложен новый метод бесконтактного исследования оптической фазовой микроморфологии поверхности с высоким пространственным разрешением. На основе техно­логии МИМ разработан универсальный лабораторный микроскоп с уникальными тех­ническими характеристиками. Приводятся результаты измерений различных объектов, демонстрирующие возможности применения прибора для неразрушающего контроля поверхности в микроэлектронике, материаловедении и биотехнологии

Лазерные микроскопы МИМ открывают новую область исследовательской физичес­кой оптики, в которой за счет измерения полного комплекса параметров когерентного монохроматического света, удается в рамках одного измере­ния с высоким пространственным разрешением получать значительный объем информа­ции о форме, материальном составе и физическом состоянии исследуемого объекта.

Такой подход вместе с оптимальной схемой обработки сигнала, позволяет обеспе­чить субнанометровый уровень разрешения по высоте и разрешение в плоскости объекта, существенно превышающее разрешение традиционных оптических микроскопов. Кроме того, за счет учета фазово-поляризационных эффектов технология МИМ позволяет полу­чать уникальную информацию о материальном составе и физическом состоянии матери­ала объекта, а также анализировать динамические процессы субнанометрового уровня в микрообъектах, в том числе живых клетках и микроэлектромеханических устройствах.

МИМ широко применяется для исследования морфометрических и динамических параметров биообъектов с высоким пространственным и временным разрешением. Полученные данные позволяют количественно оценивать состояние исследуемого объекта его метаболическую активность и стадии клеточного цикла.

П.С.Игнатьев, К.В.Индукаев, А.В.Лопарев, П.А.Осипов. OOO «Лаборатории Амфора»