Ферроэлектричсские материалы, в частности, пьезокерамика, используются в электронной промышленности более 50 лет. Практически всем специалистам известна ЦТС (цирконат титанат свинца) керамика, ультразвуковые транедьюсеры в сонарах и системах глубинного сейсмического зондирования; модифицированный титанат бария, являющийся диэлектриком в многослойных керамических конденсаторах и т.д. В современных бытовых устройствах известен широкий ряд от ИК датчиков перемещения до актюаторов камер с автофокусировкой.
Общим и характерным параметром всех ферроэлектриков является наличие поля переориентируемой произвольной поляризации.
До последнего времени ферроэлектрики, и, в частности, пьезоэлектрики, использовались, где было возможно, в виде монокристаллов. Но невозможность изготовления пьезокерамических пластин толщиной менее 200 мкм ограничила возможность миниатюризации пьезотехпических устройств. Пока эти материалы показывали надежную работу и обеспечивали падежные решения, было непрактично заниматься производством топких слоев (менее 10 мкм) с соответствующей лучшей размерной точностью.
С 80-х годов были разработаны методы изготовления интегральных микросхем и комбинаций превосходных свойств пьезокерамики с кремниевыми микромеханическими устройствами. Это приведет к созданию нового поколения пьезоэлектрических приборов, которые окажут большое влияние на эволюцию микро- и иапоэлектротгаки в последующие годы.
Области применения Нанотехнологичная пьезотехника
