Приборы МЭМС (микроэлектромеханические системы) сейчас в основном базируются на кремнии, да и пришли они из хорошо развитой промышленности, которая при очень высоком качестве выпускаемых пластин является относительно недорогой при массовом производстве. В то же время, имеется потребность в других свойствах приборов МЭМС. Возможны новые пути развития, связанные с осаждением других материалов на кремний. Такие материалы могут значительно изменить возможности прибора. Основа этих материалов все-таки кремний, но сейчас наметилось движение в сторону пластических и пьезоэлектрических материалов. Пьезоэлектрические материалы, представляют интерес благодаря большой плотности энергии на единицу генерирующей величины, низкому электрическому импедансу и малому энергопотреблению.
Промышленные технологии создания пьезоэлектрических пленок позволят обеспечить миниатюризацию без потери функциональности, интеграцию пьезотехнических устройств в монолитные системы, улучшение избирательности и чувствительности, улучшение воспроизводимости, надежности и точности при низких энергетических затратах. Кроме того, находят применение новые области физики, открывающие новые возможности использования свойств сегнетоэлектриков. Интеграция пьезотехники с микроэлектроникой обеспечивает ее широкое применение в МЭМС.
Кремний часто используется как подложка для последующего выращивания пьезоэлектриков. Но активной областью является тонкая пленка последнего с металлическими электродами на каждой стороне. Использование пьезоэлектрических МЭМС открывает возможности создания микроструктур, производство которых будет затруднено использованием только кремния.
Продолжение статьи тут.
Области применения Пьезоэлектрические материалы в приборах МЭМС
