Тонкопленочные приборы являются лучшей альтернативой объемным пьезокерамическим датчикам для высокочастотных акустических приборов. Технология изготовления тонкопленочных акустических приборов на много проще, что будет уменьшать их себестоимость. Пьезоэлектрические пленки могут быть использованы для микроэлектромеханических систем, таких как микродатчики. Микроэлектромеханические системы (МЭМС) часто включают в себя пьезоэлектрические тонкие пленки для возбуждения и детектирования движения механических структур. Одним из многообещающих материалов для микроактиваторов является ЦТС.
Тонкопленочные пьезоэлектрические приборы для высокочастотных акустических приборов предпочтительнее массивных пьезоэлектрических керамических датчиков. Для изготовления тонкопленочных акустических приборов могут быть использованы простые технологические процессы изготовления интегральных микросхем, которые снизят себестоимость производства таких приборов.
Для осаждения ЦТС пленок могут быть использованы различные методы, такие как электроионнолучевое испарение, диодное напыление на радиочастоте, ионно-лучевое осаждение, магнетронное напыление, MOCVD, осаждение в плазме связанного заряда (ECR), лазерная абляция и золь-гель метод. Преимуществами магнет-ронного напыления ЦТС тонких пленок являются низкая температура, малые потери и легкость контроля.
На основе экстремально малых актюаторов и использования микроактюаторных технологий возможно создание МЭМС корректоров фронта волны для применения в адаптивной оптике в космическом пространстве. Активное управление фронтом волны необходимо для частичного подавления потенциально большой пространственной частотной ошибки.
Вполне реальна технология линейных микро-актюаторов с большим линейным перемещением. Пьезоэлектрические МЭМС актюаторы обеспечивают большую силу на выходе при малых управляющих напряжениях. Так ЦТС моиоморфный актюатор диаметром 2,5 мм с оптимизированной толщиной ЦТС даст отклонения 5,7 мм при 20 В. Мембрана деформируемого зеркала перемещается актюаторной матрицей 20 х 20.
Области применения Тонкопленочные акустические приборы
